O microscópio de tunelamento foi desenvolvido por Gerd Binnig e Heinrich Rohrer no início de 1980, um desenvolvimento que lhes valeu o Prêmio Nobel de Física em 1986. Binnig, Calvin Quate e Christoph Gerber inventaram o primeiro AFM (Atomic Force Microscope), neste mesmo ano, "com objetivo de medir forças menores que 1µN entre a superfície da ponteira (tip) e a superfície da amostra". Desde a invenção do microscópio de força atomica (MFA), ele se tornou o mais usado microscópio de varredura por sonda (MVS). Os microscópios (MVS) são compostos basicamente por uma pequena ponta delgada, que pode ser de silício (SiO2 ou Si3N4), diamante, etc., que escaneia a superfície de interesse nas direções x, y e z, movendo-se uma sonda através de um raster scan, linearmente.