Ein
Elektronenmikroskop (früher auch
Übermikroskop) ist ein
Mikroskop, welches das Innere oder die Oberfläche eines Objekts mit
Elektronen abbilden kann. Da schnelle Elektronen
Materiewellen einer sehr viel kürzeren Wellenlänge als sichtbares Licht darstellen und das
Auflösungsvermögen eines Mikroskops durch die Wellenlänge begrenzt ist, kann mit einem Elektronenmikroskop eine deutlich höhere Auflösung (derzeit etwa 0,1
nm) erreicht werden als mit einem
Lichtmikroskop (etwa 200 nm). Während bei optischen Mikroskopen die Auflösung tatsächlich nahezu die von der Lichtwellenlänge gesetzte physikalische Grenze erreicht, verschlechtern bei Elektronenmikroskopen die
Aberrationen der elektronenoptischen Bauteile die nutzbare Auflösung um etwa eineinhalb Größenordnungen gegenüber der Elektronenwellenlänge, die für 100
keV Elektronenenergie etwa 0,0037 nm beträgt.