Ein
Stepper (auch
Wafer-Stepper) ist in der
Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip für die
fotolithografische Strukturierung einer
Fotolackschicht, einem der wichtigsten Teilprozesse bei der komplexen Herstellung von
integrierten Schaltkreisen, auch Mikrochips genannt. Wichtigstes Merkmal von Steppern ist die Belichtung des
Wafers in mehreren gleichen Schritten mit einer
Maske; Wafer sind dünne
Halbleiterscheiben, auf deren Oberfläche die integrierten Schaltkreise aufgebaut werden. Weitere Belichtungsverfahren sind die 1:1-Belichtung und die Belichtung mittels Scanner-Anlagen.