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フォトリソグラフィ
フォトリソグラフィ
()は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光(パターン露光、像様露光などとも言う)することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、
半導体
素子、
プリント基板
、
印刷
版、
液晶ディスプレイ
パネル、
プラズマディスプレイ
パネルなどの製造に用いられる。
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